北京科氏力科学仪器有限公司

联系我们 北京科氏力科学仪器有限公司

探索与设备开发

适用于高级半导体设备和技术开发的最先进、最灵活的解决方案

半导体设备制造商和设计师正在不断拓展物理学的边界,他们正在原子尺度制造和设计设备。由于正在研究的技术方案在技术和商业上取得成功的可能性越来越不确定,为此就需要开发越来越多的技术方案。FEI 可提供最先进的工具套件,让这些尖端研发工作能够在 10 nm、7 nm 甚至 7 nm 以下的技术级别继续开展下去。

设备开发面临的挑战

半导体设备制造商和设计师已从平面器件转向用复杂的三维形状、气隙或新型材料制成的结构,因此制造工艺和门级失效分析的复杂性大幅增加。在 FIB 铣削横截面发现缺陷或分解材料界面,需要高度精确的端接、表面处理和 SEM 成像性能。对于原子级缺陷或成分分析,为了让透射电子 (TEM) 或原子探针 (APM) 显微镜捕捉恰当的观测区域 (ROI) 而制作超薄层片也存在一些挑战。由于场地和资金有限,实验室正在竭尽全力为样品处理系统中的每个样品工作流提供一流的性能。

  • 超薄 (<10nm) 样品
  • 新材料(如 III-V)
  • 复杂的沉积技术
  • 新分析技术(如原子探针)
  • 原子级工程
  • 高分辨率应变测量

推进探索工作的 FEI 解决方案

Helios NanoLab 460F1 将最高分辨率的扫描电子显微镜 (Elstar+UC SEM) 和当前已上市的聚焦离子束 (Tomahawk FIB) 柱与最先进的样品处理能力结合起来,可以解决高级半导体失效分析实验室遇到的各种难题。原位、低 kV (30kV) STEM 成像缩短了高分辨率和高对比度成像所需的时间。全新的高精度沉积和蚀刻性能,与增强的样品控制和丰富的自动化套件紧密结合,可提供合适的解决方案解决您实验室遇到的任何难题。

  • 最灵活的 DualbeamTM - Helios NanoLab 460F1
  • 原子工程 TEM - Themis & Metrios
  • 14 nm 以下电路修改 - V400ACE

文档

利用聚焦离子束技术对三维互连结构进行位置特异性剂量、检测和失效分析

在本文中,Fraunhofer Institute 和 FEI 介绍了为何等离子 FIB 是一款非常富有吸引力的工具,可用于分析相对较大的复杂互连结构(例如 3DIC),而无需执行任何机械制备步骤。

Products for 探索与设备开发

Helios PFIB EFI 的半导体应用
世界最先进的 DualBeam Plasma FIB 平台用于半导体失效分析、工艺开发和过程控制应用。

Metrios TEM 的半导体应用
先进的逻辑和内存制造工艺越来越依赖于精确的结构和分析数据的快速转换,以便快速校准工具集、诊断产品成品率偏差和优化制程成品率。 在低于 28 nm 的技术节点,传统的 SEM 或基于光学的分析和检验工具无法提供有用的数据。Metrios 可使基本的 TEM 操作和测量过程自动化,对专门的操作员培训要求也降至最低。而且,相比手动方法,先进的自动化测量例程显著提高了精度。Metrios 用于提供大量的 TEM 数据,操作精确且可重复 - 单位样品成本极低。
Helios NanoLab 460F1 的半导体应用
在半导体行业内,作为世界上最先进的成像、分析和 TEM 样品制备 DualBeam 平台,Helios NanoLab 460F1 融合了一系列一流的技术,即使面对最富挑战性的样品,也可以实现简单、一致的样品制备。
Helios PFIB 的半导体应用
Helios PFIB 是世界上最先进的大面积逆向处理 DualBeam 等离子 FIB 平台,可实现先进工艺芯片的电气故障隔离和三维封装的先进失效分析。
Vion 等离子聚焦离子束的半导体应用
Vion 等离子 FIB 是一款能够进行高精度高速切削和铣削的仪器。它能够有选择地对兴趣区域进行铣削。此外,这款 PFIB 还能有选择地沉积构成图案的导体和绝缘体。
OptiFIB Taipan 的半导体应用
为满足 10 nm 节点严苛的电路修改要求,我们设计了 OptiFIB Taipan 系统,以解决高级设计和工艺所面临的挑战。全新的共轴离子-光子镜筒、电子器件、样品仓和载物台可提供高度可控的射束轮廓和电流、实现准确的导航和离子束定位以及可靠的终点检测。最新的化学品输送系统提供行业领先的蚀刻和沉积化学品。
V400ACE 聚焦离子束的半导体应用
V400ACE 专为解决高级设计与工艺面临的挑战而设计:几何尺寸更小、电路密度更高、采用了特殊材料和复杂的互连结构。使用选配的 IR 显微镜和块状硅刻蚀工具包配置 V400ACE 时,它还能具备背面编辑功能。
Verios XHR SEM 的半导体应用
Verios™ 460 XHR 是 FEI 领先的 XHR SEM 系列的第二代产品。在先进半导体制造、生命科学和材料科学应用领域,它提供精确测量材料所需的亚纳米级分辨率(从 500 eV 到 30 keV)和增强对比度;在生命科学领域,它能够对脆弱的生物样品使用低束电流。
submitting your request...
返回顶部

A change is coming to coriolis-china.com.

We will update the look of the site Coriolis scientific brand is in the coming days. This transition is an exciting time to continue To promote solutions for our world-leading laboratories.